對于MEMS慣性系統而言，獲得精度合適的陀螺螺比加速度計更加困難?？评飱W利效應是制造振動陀螺的理論基礎。原理上，一個質量元件在平面內做正弦振動時，如果該平面同時以角速度2做旋轉運動，則在科里奧利效應的作用下，質量元件將垂直于平面做正弦振動，振幅與2成正比關系。通過測量科里奧利效應作用下的運動計算角速度2。所有的石英和硅制造科里奧利振動陀螺儀（Coriolis振動陀螺儀（CVG）都是基于這個原理?；旧纤械腗EMS CVG可以分為振動臂式，振動盤式和環形諧振框式3類。全世界已經有大量使用和正在發展的MEMS CVG。MEMS IMU的性能主要受初始陀螺的性能，目前MEMS陀螺的靈敏度為5?30°/小時。

       MEMS振動臂式（音叉式）陀螺

       1990年，SystronDonner公司開始為美國空軍“小?！睂椫圃?8 000只石英額定陀螺，期限2年。1990年中期，新的技術采用了大批量生產規范的偏航角速率傳感器，這些傳感器最初于1997年應用在汽車上。Systron Donner公司最為知名的H形石英壓電陀螺。這種陀螺為平面陀。到2008年，每天可以制造的這種陀螺超過40 000只。后來還發展了應用在智能彈藥上的高-g陀螺。一個6自由度的IMU，包含3個陀螺和3個振動加速度計，大約1992年或稍晚，數字石英IMU數字石英IMU）出生。DQI被嵌人到Rockwell的C-MIGITS中4，Systron Donner公司擁有制造權。

       Onera公司的振動積分陀螺（振動陀螺儀（VIG）為振動系統采用了特殊的隔離裝置（所謂DIVA加速度計一樣），以減少結構外的能量損耗。100Hz帶寬下，輸出噪聲為0.01°/s/√Hz。Sagem公司的Quapason陀螺有4個凸尖的伸出基座，以減少輸人到輸出的交叉交換信號。